（来源：上观新闻）
同时，3👨🎤🌆D NAND👨🎤😢 堆叠层数不断增🇿🇲加，每层薄🤡🏫膜厚度要🦄求严苛，ALD ⛱与 C🍨VD 协同工艺🚧🍊成为主流，这💥♒都对薄🇨🇴膜沉积设备提🏨🇭🇳出了更高要求🛋。
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